對(duì)真空鍍膜設(shè)備而言，真空泵是 其獲得真空環(huán)境不能缺少的一個(gè)組成部分,生產(chǎn)廠家每制造一臺(tái)真空鍍膜設(shè)備均搭配一種或多種真空泵。

真空鍍膜機(jī)如何選型選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng)：

1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。

如:真空鍍膜機(jī)要求1x10-5mmHg的真空度, 選用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空鍍膜機(jī)對(duì)于真空度的極限要求和工作壓力強(qiáng)度要求越來(lái)越大，對(duì)真空泵的抽真空能力要求就越高，通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

2、正確地選擇真空泵的工作壓力。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍 ,

當(dāng)泵需要的氣體壓力不高或所需的真空度不高的時(shí)候，可優(yōu)先在單級(jí)泵中進(jìn)行選擇，度過(guò)排氣壓力或真空度的要求比較高，單級(jí)泵往往不可以滿足要求，可以選擇使用兩級(jí)泵或者多級(jí)泵。

如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg ,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5*10-4~5x10-6mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1x10-5mmHg為好。

3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一-種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵，(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空:有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。

5、真空鍍膜機(jī)對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:干泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。

6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆粒灰塵,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用也是我們考慮的重點(diǎn)之一。

能為自己的真空鍍膜機(jī)選配合適生產(chǎn)需求的的真空泵是最機(jī)智的選擇，希望大家能通過(guò)以上的分享能幫助大家選配到合適的真空泵。